突破“不可能三角”——飞马座运动平台

在瞬息万变的半导体行业，生产效率和产品质量是企业竞争力的核心。长期以来，半导体检测领域面临着一个“不可能三角”：高精度、高速度和高稳定性难以兼得，高精度往往以牺牲速度为代价，而追求产率又可能影响定位稳定性。传统运动平台往往在这些要素之间做出妥协，导致设备综合效率低下，成本居高不下。

产品|飞马座运动平台

雅科贝思飞马座运动平台PGS-XYT系列，以系统层面的正向设计，从材料、结构、热管理和运动控制等多个维度出发，彻底打破半导体行业困局。它不仅实现了毫秒级整定、亚微米级精度，更将静态抖动控制在纳米级别，为半导体制造带来了革命性的突破。

飞马座运动平台

核心特点：三位一体，重塑生产力

🔹 突破性产率：毫秒级响应，赋能高效制造

飞马座运动平台采用先进的直驱技术，结合轻量化高刚度结构设计、主动减震系统以及智能运动控制算法，将平台整定时间缩短至10ms以内。这意味着更快的运动速度、更短的生产周期，从而大幅提升平台产率，助力企业在激烈的市场竞争中赢得先机。

PGS-XY模组

🔹 纳米级抖动：精益求精，铸就卓越品质

在精密制造领域，纳米级抖动是衡量平台性能的关键指标。飞马座运动平台搭载高信噪比控制系统，实现了3nm静态抖动的卓越表现。这为半导体检测、量测等对精度要求极高的应用场景提供了坚实保障。

🔹 卓越洁净性能：高标准环境，延长设备寿命

飞马座运动平台充分发挥直驱技术在洁净度和寿命上的先天优势，并采用低发尘设计、内置抽排系统和气路污染隔绝等创新技术，实现了ISO2级别的超高洁净度。这不仅能够有效降低污染离子的传播，更显著延长设备的使用寿命，为企业创造更大价值。

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技术优势：突破行业瓶颈

🔹 震动管理：主动隔震，稳如磐石

飞马座运动平台采用先进的直驱技术，结合轻量化高刚度结构设计、主动减震系统以及智能运动控制算法，将平台整定时间缩短至10ms以内，可满足最大加速度2.5g的工况。这意味着更快的运动速度、更短的生产周期，从而大幅提升平台产率，助力企业在激烈的市场竞争中赢得先机。

🔹 轻量化高刚度设计：精益求精，追求极致

利用先进材料和拓扑优化等手段，飞马座运动平台实现了轻量化高刚度结构设计。三片式一体化设计不仅能够压缩空间尺寸，更能提高结构刚度，从根源上减少抖动和串扰，确保产率和精度的双重提升。

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应用场景

飞马座运动平台凭借其卓越的性能，广泛适用于半导体制造过程中的关键环节，包括：

半导体检测与量测：

在晶圆检测、缺陷分析、膜厚测量等高精度量测应用中，飞马座平台能够提供稳定的运动控制和纳米级抖动抑制，保障测量结果的准确性和可靠性。

套刻误差检测与校正：

在多层芯片制造过程中，套刻精度是影响芯片性能的关键因素。飞马座平台能够辅助套刻误差的检测与校正，提高芯片的良率。

未来与展望雅科贝思深耕运动控制领域多年，始终关注半导体行业的发展趋势。未来，雅科贝思将通过持续的技术创新、深化行业合作和拓展全球市场，致力于成为半导体行业领先的运动控制解决方案供应商，为推动半导体产业的发展贡献力量。