PI应用 I 小型组件和特征的3D分析

导语：为了快速、可靠地测量微小组件和特征的表面轮廓，对运动和控制系统以及传感器技术提出了高要求，从而确保最终产品满足功能和质量要求。选择要使用的传感器技术取决于传感器分辨率、测量范围和数据采集速度等标准。

为了快速、可靠地测量微小组件和特征的表面轮廓，对运动和控制系统以及传感器技术提出了高要求，从而确保最终产品满足功能和质量要求。选择要使用的传感器技术取决于传感器分辨率、测量范围和数据采集速度等标准。

该运动解决方案的主要特点

·紧凑且经济的设计

·高度可重复的运动路径

·极小的测量光斑尺寸

·高传感器带宽和分辨率，可实现快速响应

·使用步进扫描算法实现更高的吞吐量

1、XY轴 - 传感器快速步进和扫描运动

·无铁芯线性电机，可实现高动态、精密且平稳的运动，完成快速步进和扫描

·绝对编码器，避免参考并确保操作安全

·XY拖链电缆管理，可保持电缆完整性并延长使用寿命

2、Z轴 - 传感器的精密垂直运动

·高精度滚珠丝杠线性平台，配有步进电机和制动闸，运行可靠，定位简单且极其稳定

·折叠式传动系统和紧凑的设计，节省安装空间

·轻量化设计，可保持龙门动态性

·价格经济，交付时间短

3、Z轴 - 用于距离控制的传感器聚焦

·音圈直接驱动电机，可实现无摩擦运行、高扫描频率与快速步进和稳定

·高分辨率线性编码器，可实现准确的位置反馈

·可调节的重力补偿，确保安全运行

4、测量表面深度 - 光学距离传感器

·光斑尺寸最小可达2微米，可以测量微小特征，并实现极其精密的定位

·工作距离范围广，允许选择各种任务和测量范围

·分辨率高、速度快，可实现动态自动聚焦补偿和高产出量

5、先进的自动化控制

·EtherCAT运动控制和驱动模块提供开放式网络连接

·将传感器输出转换为位置数据，通过模拟接口或数字接口实现快速输出

·广泛的运动控制器算法，在确保快速运动和稳定的同时，完成平滑扫描

对于基于激光的传感器，还需要考虑焦点尺寸或测量场或视野面积以及聚焦能力。配置运动控制系统时，需要确保传感器快速而精确地放置在感兴趣的点或区域。要满足此要求，需要能够快速移动到位置且具有短稳定时间，或者快速、均匀地扫描特定区域。