PI应用 I PI Metro™– 半导体晶圆检测的高精度运动平台

PIMetro™运动解决方案

可重复的快速步进与稳定运动

可靠且高质量的大规模中国本地化生产

符合ISO 14644洁净室5级标准

先进ACS控制功能：龙门控制，2D映射

遵循全球设计和计量标准

模块化和可扩展，支持定制

快速、准时交付：12周

快速服务响应：24小时内

高精度且可重复的360度旋转，无空回

磁性直接驱动器可实现高速度和加速度

直接驱动、无槽、无刷力矩电机可提供非常低的齿槽转矩并实现平稳的速度和低误差运动

超精密空气轴承由内部开发和制造

进一步提升性能，以优化异步操作的性能规格

低型面高度、高负载、结构紧凑的优异设计

直驱音圈技术可实现零齿槽效应、纳米级步长的平滑运动以及快速响应

高分辨率编码器可实现运动平台的纳米级定位

高精度防蠕动交叉滚柱轴承

气动平衡系统可防止电机过热并避免碰撞

经济实惠，交付快捷

安装在基轴上的高动态耦合无铁芯直线电机，可实现强劲、快速的精密运动

双编码器系统可确保电机与偏转角对准，同时实现高分辨率和高精度

低型面高度多轴承刚性平台可减少阿贝偏移，并实现更高的平面度和直线度

设计可实现高度的灵活性和定制能力

优化的集成电缆管理可减少运动阻力并延长使用寿命

花岗岩底座可确保运动系统的较高性能

选装有源隔振系统

薄膜厚度测量应用

在半导体制造过程中，在硅片上沉积了多个电介质层

薄膜厚度测量用于测量各层的正确厚度

通常使用光学技术“椭圆偏振法”

椭圆偏振法测量光在薄膜表面上反射后的偏振度，从而可以确定这种层的厚度，直至埃水平

从晶圆级到芯片封装

整个价值链的运动和定位解决方案