微泓：创新突破，发力精密运动平台应用市场 ——访上海微泓自动化设备有限公司总裁刘品宽博士

今年国内外经济增速开始放缓，加之中美贸易战的升级，国内制造业受到波及，直驱行业也未能“幸免”，所谓危机也是生机，上海微泓自动化设备有限公司（简称：微泓）砥砺前行，对未来直驱市场充满信心。近期，本刊实地走访了微泓自动化总裁刘品宽博士，他详细介绍了目前公司在直驱市场的技术开发动向以及未来的发展规划。

上海微泓自动化设备有限公司总裁刘品宽博士

提供洁净、真空的专业化半导体装备方案

微泓是一家致力于直驱（Direct-Drive）回转定位平台产品研发和应用为一体的企业，加强大学科研院所的工程能力，与大学科研院所共同承担和完成国家大规模集成电路制造装备与成套工艺国家科技重大专项（简称“02专项”），是微泓公司成立的初衷，这也使得微泓成为了较早进入半导体制造领域的国内企业之一。

上海是中国高端制造领域发展较快的区域，这为微泓提供了很好的发展机遇。刘品宽表示，“我们是一家真正在半导体装备制造行业有着多年实际开发经验的国内公司，具备齐全的检测设备和拥有核心的研发技术团队。目前与多家上海半导体装备企业有紧密的合作关系，包括光刻机、刻蚀机、CVD化学薄膜沉积设备等等。半导体行业对洁净、真空环境以及生产工艺要求极为严苛，有一定的准入‘门槛’，通过这些年来的开发积累，微泓自动化的直驱转台DDR产品在国内光刻机设备上有所应用。

为了满足半导体制造对洁净度的高要求，微泓建立了100平米的万级洁净间，用于洁净环境下的精密装配、调试与测试；并配有激光干涉仪、主轴分析仪等精密测试仪器，满足系统设计过程中对定制系统的标定、精度测试和运动特性的测试要求；特别是还开发出了一套专门针对运动定位系统的运动时不同敏感位置的颗粒检测与洁净度评估系统，令产品能够完全符合客户对高端应用领域的需求。

微泓开发的洁净环境使用的多维精密运动平台和多维洁净机械手，采用电缆管理系统，可以降低颗粒物的排放量；专属润滑剂用于洁净环境使用，不含碳氢化合物；对材料表面进行特殊处理，使用洁净室级包装；专门的制造工艺，使运动系统达到最高的系统级洁净度。

其中，多维精密运动平台可根据客户的应用需求，为客户量身定制多维运动系统，目前已有的成熟方案包括12吋晶圆的光学关键尺寸，薄膜厚度，光刻叠对测量中的四维精密运动平台、12吋晶圆缺陷在线检测的四维精密运动平台、球面和非球面表面测量中的四维精密运动平台等，这些技术解决方案可以应用在对平台性能具有极高要求的半导体制造相关领域。

拓展产品线，加强市场化

微泓从2014年左右开始面向市场推出直驱系列产品，并把高精度直驱DDR转台技术定位为公司的重点开发方向，目前在直驱转台技术方面拥有10多项授权国家发明专利。从2017年开始，微泓根据市场环境做出调整，向中低端应用市场辐射。

扩展中低端应用市场，微泓从三个方面着手，首先，是扩大产品线。微泓目前已开发出自己的产品线，包括运动控制、伺服驱动、测量传感、控制软件、定位机构等关键部件，以及包括从纳米级定位，到微米级定位和微-纳结合的运动与定位控制系统，这些标准化和定制化产品线能满足用户对精密运动与定位控制的需求，且微泓的伺服电机、伺服驱动器以及相应的精度补偿与标定算法完全是自主研发技术。微泓的产品在3C电子、平板显示、激光精加工、半导体和泛半导体制造装备（如：光刻机转台）等一些精密加工行业得到广泛应用。

目前微泓主要推出的DDR直驱转台包括机械轴承支承系列（SR系列）和气浮轴承支承系列（GR系列），具有高转速、低传动惯量、良好的加速性能优势，易实现高精度、高动态性能的定位过程。从定位精度（0.25~30arc-sec）和输出力矩（0.2~300N·m）两个维度，精确定位用户的应用，给予用户更大的选择范围。同时还可以将直接驱动旋转电机直接耦合或连接到从动负载上，从而实现与负载的刚性耦合，消除了与传动皮带和齿轮箱等相关的问题，为用户带来很好的解决方案。

其次，微泓着手做高性价比的产品，通过加强核心零部件（如光栅编码器）的国产化率，来降低整体系统的制造成本，为不同的行业用户提供具有综合性价比优势的解决方案。在严格按照行业标准，保证产品的质量的同时，强化与客户建立联系，增强用户粘性，了解客户的真实需求，为客户提供个性化和专业化的售后服务。

此外，针对不同的细分应用领域，做定制化开发。微泓具备ETO定制小批量制造与测试能力，目前已形成完善的ETO开发管理流程，包括前期的客户咨询、需求分析、方案及报价、签订合同、项目小组成立、详细设计、加工制造、售后维护、测试与用户考核。根据客户设备生产的新要求，有针对性地在设备上定制开发所需要的功能，可以为不同的应用场合提供差异化的技术方案，满足中低端市场不同用户的场景需求。

“目前我们工作的重点是结合各种不同的实际应用环境，运用我们在DDR转台技术开发的优势，去替代国外高端品牌。在和客户的合作上，我们双方会集中技术、资金等优势资源，共同开发出更符合客户生产应用需求的方案，解决客户面临的难点。”刘品宽补充道。

近年来，微泓已在华东市场上崭露头角，按照公司的发展规划，华南地区将是微泓未来主力开发的重点区域市场。正如刘品宽所言，华南地区是中国高科技电子产业的聚集地，已形成门类齐全、综合配套能力和产品开发能力较强的外向型现代工业体系，发展极具前瞻性。微泓会紧跟时代步伐，采用“脚踏实地，扎实基础”的战略，全面布局企业发展道路，持续扩大微泓在中国自动化市场上的品牌影响力。